1、產品的種類和大小：產品種類和狀態(tài)千差萬別，微波真空干燥工藝并非固定不變。事實上，在微波真空干燥過程中，物料內部逐漸形成疏松多孔狀，其內部的導熱性開始減弱，即物料逐漸變成不良的熱導體。隨著微波真空干燥過程的進行，內部溫度會高于外部，物料體積愈大，其內外溫度梯度就愈大，內部的熱傳導不能平衡微波所產生的溫差，使溫度梯度達到不能接受的水平。因此，一般應預先把物料處理到較小的粒狀或片狀以改進干燥的效果。粉末狀產品在微波干燥時具有其獨特性。當它們被堆積在一起時不應看成是許多小顆粒，而是一個整體，需要特別注意料層的內外溫差。一般當物料以較大的形式出現(xiàn)時，需在物料接近減速干燥期時，降低微波功率，從而有效減少其內外溫差，但反效果是延長了干燥時間。

2、設備真空度：壓力越低，水的沸點溫度越低，物料中水分擴散速度加快。微波真空諧振腔內真空度的大小主要受限于擊穿電場強度，因為在真空狀態(tài)下，氣體分子易被電場電離，而且空氣、水汽的擊穿場強隨壓力而降低；電磁波頻率越低，氣體擊穿場強越小。氣體擊穿現(xiàn)象最容易發(fā)生在微波饋能耦合口以及腔體內場強集中的地方。擊穿放電的發(fā)生不僅會消耗微波能，而且會損壞部件并產生較大的微波反射，縮短磁控管使用壽命。如果擊穿放電發(fā)生在食品表面，則會使食品焦糊，一般20kV/m的場強就可擊穿食品(介電常數(shù)不同)。所以正確選擇真空度大小非常重要，真空度并非越高越好，過高的真空度不僅能耗增大，而且擊穿放電的可能性增大。